水分是半導(dǎo)體制造過(guò)程中影響較大的污染物之— 準(zhǔn)確測(cè)量水分、濕度和溫度

半導(dǎo)體制造業(yè)流傳著一句話：“這不是火箭科學(xué)，但比火箭科學(xué)難多了！"雖是玩笑話，卻從一定程度上反映了事實(shí)：半導(dǎo)體制造過(guò)程既復(fù)雜又耗時(shí)，制造周期長(zhǎng)達(dá) 12 到 20 周。制造半導(dǎo)體所需的初期投資巨大，制造流程需要的設(shè)備非常昂貴。在新一輪投資周期開(kāi)始之前，一個(gè)制造周期通常會(huì)持續(xù)大約六年，并且整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的利潤(rùn)率相對(duì)較低，這意味著只有高產(chǎn)量才能保證盈利。因此，避免生產(chǎn)廢品和不良品至關(guān)重要。

水是半導(dǎo)體制造過(guò)程中影響較大的污染物之一，一些預(yù)估表明，不合適的濕度條件造成的損失占收入損失的 25%。為避免產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量出現(xiàn)問(wèn)題，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中必須尤為謹(jǐn)慎地監(jiān)測(cè)濕度和溫度水平。維薩拉的高精度測(cè)量解決方案適用于制造工藝流程中的關(guān)鍵步驟，響應(yīng)非常迅速，且能夠適應(yīng)各種環(huán)境條件。在本篇文章中，我們將介紹濕度、水分、微量水分相關(guān)濕度、露點(diǎn)和霜點(diǎn)等參數(shù)。

高科技納米級(jí)半導(dǎo)體制造

對(duì)于高科技納米級(jí)半導(dǎo)體制造等超純應(yīng)用，在去除灰塵、油脂和其他污染元素等雜質(zhì)后，可能會(huì)殘留微量水分。這可能會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量產(chǎn)生負(fù)面影響。雖然不可能全消除流程中的每一個(gè)水分子，但我們應(yīng)該借助準(zhǔn)確測(cè)量工具很大程度上減少水分含量。

潔凈室暖通空調(diào)

潔凈室暖通空調(diào) (HVAC) 系統(tǒng)通常內(nèi)置在空氣處理裝置或風(fēng)扇過(guò)濾裝置中。水分可能會(huì)污染工藝過(guò)程、與工藝過(guò)程中的化學(xué)品發(fā)生反應(yīng)或?qū)е蚂o電放電 (ESD) 問(wèn)題。某些情況下需要達(dá)到 +/?2% 的相對(duì)濕度測(cè)量準(zhǔn)確度以及 +/?0.25°C 的溫度測(cè)量準(zhǔn)確度。維薩拉變送器非常適合用于控制通風(fēng)機(jī)內(nèi)部或潔凈室墻壁上的空調(diào)機(jī)。

根據(jù)在潔凈室中進(jìn)行的工藝過(guò)程，目標(biāo)濕度和溫度可能有所不同。維薩拉的 HUMICAP® 傳感器技術(shù)在任何環(huán)境下的響應(yīng)都非常迅速，而且準(zhǔn)確度高，具有出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和較長(zhǎng)的維護(hù)間隔。HUMICAP 傳感器基于聚合物薄膜技術(shù)，并且在維薩拉自己的潔凈室中制造。

工藝管線氣體質(zhì)量

潔凈室操作需要高質(zhì)量的過(guò)程氣體，監(jiān)測(cè)工藝管線氣體中的濕度水平可防止可能導(dǎo)致材料損失的水分污染。目標(biāo)通常是盡量降低含水率，為此要監(jiān)測(cè)的正確參數(shù)是露點(diǎn)。選擇傳感器時(shí)，響應(yīng)速度快和耐冷凝特性非常重要，因?yàn)檫@二者有助于確保可靠操作，即使在長(zhǎng)時(shí)間停機(jī)后還能實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程平穩(wěn)加速。

維薩拉 DRYCAP® 技術(shù)采用我們專(zhuān)有的聚合物薄膜技術(shù)，該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高靈敏度、針對(duì)各種環(huán)境和應(yīng)用進(jìn)行靈活優(yōu)化，即使在惡劣環(huán)境下也具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性。凈化功能可以去除薄膜中不需要的殘留物，即使在次優(yōu)條件下也能確保長(zhǎng)期準(zhǔn)確度。

維薩拉自動(dòng)校準(zhǔn)功能使用專(zhuān)有設(shè)計(jì)和算法，可消除環(huán)境老化對(duì)傳感器結(jié)構(gòu)的影響。長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)傳感器性能有助于傳感器糾正靈敏度變化，提高長(zhǎng)期穩(wěn)定性，使其使用壽命遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出傳統(tǒng)的傳感器，并減少惡劣環(huán)境條件對(duì)其性能的影響。維薩拉傳感器響應(yīng)速度快，能夠在系統(tǒng)發(fā)生故障時(shí)迅速做出反應(yīng)以防止材料損失。

壓縮空氣質(zhì)量

壓縮空氣潔凈度對(duì)于大多數(shù)工業(yè)設(shè)施的潔凈室環(huán)境至關(guān)重要，因此目標(biāo)多余水分含量非常低：目標(biāo)露點(diǎn)水平可低于 ?80 °C，通常系統(tǒng)會(huì)設(shè)置多個(gè)警報(bào)級(jí)別，一旦超出此目標(biāo)水平即發(fā)出警報(bào)。維薩拉產(chǎn)品在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試和校準(zhǔn)，以確保傳感器讀數(shù)高度準(zhǔn)確，降低高成本的過(guò)度干燥風(fēng)險(xiǎn)。維薩拉濕度傳感器單元的響應(yīng)非常迅速，可以及時(shí)發(fā)出警報(bào)，使客戶(hù)能夠快速識(shí)別和解決任何問(wèn)題。